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반도체 후공정 시험기

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Reflow 실시간 온도프로파일 시스템


› 장비명
- Virtual Profile System for Reflow

› 개요

- 기존의 Profiler의 단점이였던 장시간의 측정시간을 획기적으로 단축할 수 있는 가상온도프로파일(Virtual Profile System)
- Reflow 가동중 실시간으로 온도프로파일링이 가능
- Oven 내부의 온도를 실시간으로 모니터링하여 Customer 신뢰성 확보
- JDTEK고유의 가상온도 프로파일 유추 알고리즘 정립으로 데이터 신뢰성 확보
- 가상 프로파일 구현으로 Reflow Set-up Time 감소 (평균 4시간  0시간)

› 기능

- 고정도 고신뢰성의 YOKOGAWA DAQ로 고정온도 측정
- 최대 오븐온도 600℃ 내구성센서
- Reflow 오븐환경, Device parameter설정
- Base Profile 측정
- 실시간 온도프로일링으로 생산중에 합불판정 가능
- 일정 시간별 데이터 보관
- 기능 및 Spec out시 Alarm 발생 및 Log 기록
- 프로파일 분석 용이하여 불량 발생시 빠른 대응 가능
- Data의 이력 관리 및 Error data의 정밀 분석 가능
- 타장비와의 에러상황 피드백 기능

Reflow O2 ppm Monitoring System


› 기존 O2 측정

- Dansensor를 작업자가 직접 이동해서 순차적으로 각 Reflow의 O2 값을 수동으로 측정하고 수기로 기록함.
- Manual로 값을 측정하고 관리하는데 많은 시간과 수고가 필요함. . 시간 및 노력 발생 . 수동으로 측정함에 따른 오류 발생

› 도입 효과

- Solenoid valve를 이용하여 전체 reflow의 O2값을 Dansensor로 순차적으로 측정하고 PC에서 판정 및 Data 저장을 Auto로 관리
· 설정해 놓은 시간을 주기로 측정 및 PPM 값 자동 저장
· 수동으로 측정함에 있어 발생될 오류 제거
· 작업자의 시간 및 노력 제거
· 저장, 분석, Monitoring 기능이 있어 Report 작성에 유용

Reflow N2 Controller


› 개요

Oven 내 투입되는 질소의 양을 제어하도록 구성

› 기능

- OVEN 질소 배관을 비례제어밸브를 통해서 투입량을 조절
- PPM제어,SCFH제어 두 가지 모드를 지원(각 모드에 따라서 밸브를 자동 조절)
- 오류상황에 따른 SCFH제어 가능.
- 알람발생시 타 장비를 위한 Signal 제공
- 타장비로부터의 운영환경 자동 변경 및 CoollDown 기능 설정 가능
- 저압경고 및 PPM Over 알람 제공.
- PPM모드시 사용되는 알골리즘을 “스케쥴“ 이란 이름으로 사용자 측에서 조절가능

2D Strip Map Edit System


› 개요

PCB Strip 의 Map Data 를 그래픽으로 Display 및 해당 데이터를 편집 & 저장

› 기능

- PCB Strip Map File 정보를 그래픽상태로 Display 편집 및 저장
- Amkor FTP Upload/Download
- Amkor Web Serivce Upload/Download(E-Cim)
- Strip 전체 및 개별 윈도우 보기 기능
- Strip 회전 및 좌우 뒤집기 , 상하 뒤집기
- Vision 을 이용한 Strip ID(2D Matrix Data) 인식
- Avago Format 을 Amkor Format 으로 자동변환

Reel Inspection System


Wafer Vision Inspection


› 개요

Wafer의 전체 이미지를 Wafer MapData File과 비교 및 요약정보 생성

› 기능

- Wafer Map Data를 Graphic 화면으로 Display
- Map Data 와의 Good/Reject 의 오차를 집계 및 파일로 저장
- Wafer Map Data Image 와 Wafer Capture Image 를 Overlay 시켜서 비교가능
- 키보드를 이용한 Wafer Map Area 조정기능

Rack Management System


› 개요

컴파운드 보관 Rack의 재고 및 위치 확인 관리

› 기능

- 보관 Rack 의 형태를 실물과 유사하게 UI를 디자인
- Rack에 보관중인 컴파운드이름과 재고량을 표시
- 무선 바코드를 사용해서 컴파운드 BOX와 사용자 NO를 인식
- Amkor Web Service 를 이용해서 Validation 체크(임의 출력 금지)
- Amkor Print S/W 와의 통신 연결로 기존 프로그램과의 연동
- LOT , BOX Tag 인식시 해당 Rack을 LED를 통해서 사용자에게 위치를 알림
- 각 운영과정을 음성을 이용해 사용자게 알림

WAFER OCR Barcode reader


› 개요

- 인쇄된 OCR Character 정보를 인식 후 1D Barcode로 인쇄 후 Wafer 에 부착
- National Instrument Vision Library 이용

› 기능

- 광학문자인식(OCR) 으로 Wafer 표면에 인쇄된 ID를 인식
- Wafer ID를 1D Barcode 로 인쇄하도록 프린터와 연계
- Wafer ID외에 Amkor SM Code 를 추가로 인쇄
- Customer 별 인쇄형태의 다양화로 인해 다중 알고리즘이 적용됨